Pengaruh Doping LiTaO3 Menggunakan Metode Chemical Solution Deposition

Abstract

Telah ditumbuhkan litium tantalite LiTaO3 dengan substrat Si Tipe –P (100) dengan metode chemical solution deposition dan spin coating dengan kecepatan 3000 rpm selama 30 seconds. hasil yang didapat absorbansi maksimum dari film lithium tantalat didoping niobium terjadi pada daerah infra merah yaitu pada puncak panjang gelombang 780 nm perbedaan dari dua puncak absorbansi antara litium tantalat murni dengan litium tantalat didoping niobium pada suhu 800 ^oC terjadi pergeseran puncak absorbansi dengan nilai panjang gelombang dari 935 nm menjadi 780 nm. dengan kata lain film LiTaO₃ banyak menyerap energi foton dari cahaya yang mengenainya dan film tipis litium tantalat didoping niobium cikal bakal menjadi sensor infra merah.